Τα συστήματα ψύξης υγρού αζώτου χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών και τσιπ, συμπεριλαμβανομένης της διαδικασίας,
- Η τεχνολογία της επιταξίας της μοριακής δέσμης (MBE)
- Η δοκιμή του τσιπ μετά από πακέτο COB
Προϊόντα που σχετίζονται
Σειρά μονωμένων σωλήνων κενού
Σειρά εύκαμπτων εύκαμπτων σωλήνων με κενό
Σύστημα δυναμικής αντλίας κενού
Σειρά διαχωριστή φάσης κενού
Σειρά βαλβίδων μονωμένης κενού
Εξοπλισμός υποστήριξης συστήματος σωληνώσεων
Επιταξία μοριακής δέσμης
Η τεχνολογία της επιταξίας της μοριακής δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε στη δεκαετία του 1950 για την προετοιμασία υλικών λεπτών φιλμ ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της εξαιρετικά υψηλής τεχνολογίας κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Η HL έχει παρατηρήσει τη ζήτηση του συστήματος ψύξης υγρού αζώτου MBE, οργανωμένου τεχνικού ραχοκοκαλιού για την επιτυχή ανάπτυξη ενός ειδικού συστήματος MBE υγρού αζώτου για την τεχνολογία MBE και ένα πλήρες σύνολο συστήματος σωληνώσεων με μονωμένο κενό, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ινστιτούτα .
Τα κοινά προβλήματα της βιομηχανίας Semiconductor & Chip περιλαμβάνουν,
- Η πίεση του υγρού αζώτου σε εξοπλισμό τερματικού (MBE). Αποτρέψτε την υπερφόρτωση της πίεσης από τον καταστροφικό εξοπλισμό τερματικού (MBE).
- Πολλαπλά χειριστήρια κρυογονικής εισόδου και εξόδου
- Η θερμοκρασία του υγρού αζώτου σε τερματικό εξοπλισμό
- Μια λογική ποσότητα κρυογονικών εκπομπών αερίου
- (Αυτόματη) εναλλαγή των κύριων και των γραμμών υποκαταστημάτων
- Ρύθμιση πίεσης (μείωση) και σταθερότητα του VIP
- Καθαρισμός των πιθανών ακαθαρσιών και υπολείμματος πάγου από τη δεξαμενή
- Χρόνος πλήρωσης του τερματικού υγρού εξοπλισμού
- Προτίμηση αγωγών
- Αντίσταση υγρού στο σύστημα VIP
- Έλεγχος απώλεια του υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια της ασυνεχούς υπηρεσίας του συστήματος
Ο μονωμένος σωλήνας κενού (VIP) του HL (VIP) είναι κατασκευασμένος στον κώδικα σωληνώσεων ASME B31.3 ως πρότυπο. Εμπειρία μηχανικής και ικανότητα ελέγχου ποιότητας για να διασφαλιστεί η αποτελεσματικότητα και η σχέση κόστους-αποτελεσματικότητας του εργοστασίου του πελάτη.
Λύσεις
Το HL Cryogenic Equipment παρέχει στους πελάτες το σύστημα σωληνώσεων με μονωμένο κενό για την ικανοποίηση των απαιτήσεων και των συνθηκών της βιομηχανίας ημιαγωγών και τσιπ:
1. Σύστημα διαχείρισης ποιότητας: ASME B31.3 Κωδικός σωληνώσεων πίεσης.
2. Ένα ειδικό διαχωριστή φάσης με πολλαπλές κρυογονικές εισόδου και έξοδο με αυτόματη λειτουργία ελέγχου ανταποκρίνεται στην απαίτηση εκπομπής αερίου, ανακυκλωμένου υγρού αζώτου και θερμοκρασίας υγρού αζώτου.
3. Ο θεατής και έγκαιρος σχεδιασμός εξάτμισης εξασφαλίζει ότι ο τερματικός εξοπλισμός λειτουργεί πάντα μέσα στην σχεδιασμένη τιμή πίεσης.
4. Το φράγμα αερίου-υγρού τοποθετείται στον κατακόρυφο σωλήνα VI στο τέλος του αγωγού VI. Το φραγμό αερίου-υγρού χρησιμοποιεί την αρχή της σφράγισης αερίου για να εμποδίσει τη θερμότητα από το τέλος του αγωγού VI στις σωληνώσεις VI και να μειώσει αποτελεσματικά την απώλεια υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια της ασυνεχείς και διαλείπουσας εξυπηρέτησης του συστήματος.
5. Βαλβίδες VIN (VIV) Σειρά VIN, υποχρεούμαι. Το VIV είναι ενσωματωμένο με VIP prefabrication στον κατασκευαστή, χωρίς μονωμένη θεραπεία επί τόπου. Η μονάδα σφράγισης του VIV μπορεί να αντικατασταθεί εύκολα. (Η HL δέχεται τη μάρκα κρυογονικής βαλβίδας που ορίζεται από τους πελάτες και στη συνέχεια δημιουργεί βαλβίδες μόνωσης κενού από HL. Ορισμένες μάρκες και μοντέλα βαλβίδων ενδέχεται να μην μπορούν να γίνουν σε βαλβίδες με μονωμένα κενό.)
6. Καθαρισμός, εάν υπάρχουν πρόσθετες απαιτήσεις για την καθαριότητα της εσωτερικής επιφάνειας του σωλήνα. Προτείνεται ότι οι πελάτες επιλέγουν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα BA ή EP ως VIP εσωτερικούς σωλήνες για να μειώσουν περαιτέρω τη διαρροή από ανοξείδωτο χάλυβα.
7. Φιλτράρισμα μόνωσης Vacuum: Καθαρίστε τις πιθανές ακαθαρσίες και το υπόλειμμα πάγου από τη δεξαμενή.
8. Μετά από λίγες μέρες ή μεγαλύτερη διακοπή ή συντήρηση, είναι πολύ απαραίτητο να προχωρήσουμε οι σωληνώσεις VI και ο τερματικός εξοπλισμός πριν από την εισαγωγή του κρυογονικού υγρού, έτσι ώστε να αποφευχθεί η σκωρία του πάγου μετά από κρυογονικό υγρό να εισέλθει άμεσα στις σωληνώσεις VI και τον τερματικό εξοπλισμό. Η λειτουργία προ -ψύξης πρέπει να λαμβάνεται υπόψη στο σχεδιασμό. Παρέχει καλύτερη προστασία για τον εξοπλισμό τερματικού και τον εξοπλισμό υποστήριξης σωληνώσεων VI, όπως οι βαλβίδες.
9. Σώμα τόσο για δυναμικό όσο και για στατικό σύστημα μονωμένης (εύκαμπτου) συστήματος σωληνώσεων.
10. ΣΥΣΤΗΜΑΤΑ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑΣ: αποτελείται από εύκαμπτους σωλήνες VI και/ή σωλήνα VI, εύκαμπτες σωλήνες, συστήματα βαλβίδων με κενό, διαχωριστές φάσης και δυναμικό σύστημα αντλιών κενού (συμπεριλαμβανομένων των αντλιών κενού, των βαλβίδων ηλεκτρομαγνητικής βαλβίδας και των μετρητών κενού κ.λπ. ). Το μήκος του απλού εύκαμπτου σωλήνα VI μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του χρήστη.
11. Διεξαγείς τύποι σύνδεσης: Τύπος σύνδεσης Bayonet Vacuum (VBC) και συγκολλημένη σύνδεση μπορεί να επιλεγεί. Ο τύπος VBC δεν χρειάζεται θεραπευμένη θεραπεία στο χώρο.
