Τα συστήματα ψύξης υγρού αζώτου χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών και τσιπ, συμπεριλαμβανομένης της διαδικασίας,
- Η τεχνολογία της επιταξίας μοριακής δέσμης (MBE)
- Η δοκιμή του τσιπ μετά το πακέτο COB
Σχετικά προϊόντα
Σειρά σωλήνων με μόνωση κενού
Σειρά εύκαμπτων σωλήνων με μόνωση κενού
Δυναμικό σύστημα αντλίας κενού
Σειρά διαχωριστών φάσεων με μόνωση κενού
Σειρά βαλβίδων με μόνωση κενού
Εξοπλισμός υποστήριξης συστήματος σωληνώσεων
ΕΠΙΤΑΞΙΑ ΜΟΡΙΑΚΗΣ ΔΕΣΜΗΣ
Η τεχνολογία της Μοριακής Επιταξίας Δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1950 για την παρασκευή υλικών λεπτών υμενίων ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας εξαιρετικά υψηλού κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Η HL έχει παρατηρήσει τη ζήτηση για σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE, έχει οργανώσει την τεχνική της υποδομή για να αναπτύξει με επιτυχία ένα ειδικό σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE για την τεχνολογία MBE και ένα πλήρες σετ σωληνώσεων με μόνωση κενού, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα.
Τα συνηθισμένα προβλήματα της βιομηχανίας ημιαγωγών και τσιπ περιλαμβάνουν,
- Η πίεση του υγρού αζώτου στον εξοπλισμό τερματικού (MBE). Αποτρέψτε την υπερφόρτωση πίεσης από την πρόκληση ζημιάς στον εξοπλισμό τερματικού (MBE).
- Πολλαπλοί έλεγχοι εισόδου και εξόδου κρυογονικού υγρού
- Η θερμοκρασία του υγρού αζώτου στον τερματικό εξοπλισμό
- Μια λογική ποσότητα εκπομπών κρυογονικού αερίου
- (Αυτόματη) Εναλλαγή Κύριων και Κλαδικών Γραμμών
- Ρύθμιση πίεσης (μείωση) και σταθερότητα VIP
- Καθαρισμός πιθανών ακαθαρσιών και υπολειμμάτων πάγου από τη δεξαμενή
- Χρόνος πλήρωσης του εξοπλισμού υγρών του τερματικού σταθμού
- Πρόψυξη αγωγών
- Αντίσταση σε υγρά σε σύστημα VIP
- Έλεγχος απώλειας υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια ασυνεχούς λειτουργίας του συστήματος
Ο σωλήνας κενού με μόνωση (VIP) της HL κατασκευάζεται σύμφωνα με τον κώδικα σωληνώσεων πίεσης ASME B31.3 ως πρότυπο. Η μηχανική εμπειρία και η ικανότητα ελέγχου ποιότητας διασφαλίζουν την αποδοτικότητα και την οικονομική αποδοτικότητα της εγκατάστασης του πελάτη.
ΛΥΣΕΙΣ
Η HL Cryogenic Equipment παρέχει στους πελάτες το σύστημα σωληνώσεων με μόνωση κενού για να καλύψει τις απαιτήσεις και τις συνθήκες της βιομηχανίας ημιαγωγών και τσιπ:
1. Σύστημα Διαχείρισης Ποιότητας: Κώδικας Σωληνώσεων Πίεσης ASME B31.3.
2. Ένας ειδικός διαχωριστής φάσεων με πολλαπλές εισόδους και εξόδους κρυογονικού υγρού με λειτουργία αυτόματου ελέγχου πληροί τις απαιτήσεις εκπομπής αερίου, ανακυκλωμένου υγρού αζώτου και θερμοκρασίας υγρού αζώτου.
3. Ο επαρκής και έγκαιρος σχεδιασμός εξάτμισης διασφαλίζει ότι ο τερματικός εξοπλισμός λειτουργεί πάντα εντός της σχεδιασμένης τιμής πίεσης.
4. Το φράγμα αερίου-υγρού τοποθετείται στον κατακόρυφο σωλήνα VI στο τέλος του αγωγού VI. Το φράγμα αερίου-υγρού χρησιμοποιεί την αρχή της στεγανοποίησης αερίου για να εμποδίσει τη θερμότητα από το άκρο του αγωγού VI στις σωληνώσεις VI και να μειώσει αποτελεσματικά την απώλεια υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια της ασυνεχούς και διακοπτόμενης λειτουργίας του συστήματος.
5.VI Σωληνώσεις που ελέγχονται από τη σειρά βαλβίδων με μόνωση κενού (VIV): Περιλαμβάνει βαλβίδα διακοπής με μόνωση κενού (πνευματική), βαλβίδα αντεπιστροφής με μόνωση κενού, ρυθμιστική βαλβίδα με μόνωση κενού κ.λπ. Διάφοροι τύποι VIV μπορούν να συνδυαστούν σε αρθρωτά τμήματα για τον έλεγχο του VIP όπως απαιτείται. Το VIV είναι ενσωματωμένο με την προκατασκευή VIP στον κατασκευαστή, χωρίς επιτόπια επεξεργασία μόνωσης. Η μονάδα στεγανοποίησης του VIV μπορεί να αντικατασταθεί εύκολα. (Η HL δέχεται την επωνυμία κρυογονικής βαλβίδας που ορίζεται από τους πελάτες και στη συνέχεια κατασκευάζει βαλβίδες με μόνωση κενού από την HL. Ορισμένες μάρκες και μοντέλα βαλβίδων ενδέχεται να μην μπορούν να μετατραπούν σε βαλβίδες με μόνωση κενού.)
6. Καθαριότητα, εάν υπάρχουν πρόσθετες απαιτήσεις για την καθαριότητα της επιφάνειας του εσωτερικού σωλήνα. Συνιστάται στους πελάτες να επιλέγουν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα BA ή EP ως εσωτερικούς σωλήνες VIP για περαιτέρω μείωση των διαρροών από ανοξείδωτο χάλυβα.
7. Φίλτρο κενού: Καθαρίστε τη δεξαμενή από τυχόν ακαθαρσίες και υπολείμματα πάγου.
8. Μετά από μερικές ημέρες ή περισσότερο διακοπή λειτουργίας ή συντήρηση, είναι πολύ απαραίτητο να προψύχονται οι σωληνώσεις VI και ο τερματικός εξοπλισμός πριν από την είσοδο κρυογονικού υγρού, ώστε να αποφεύγεται η συσσώρευση πάγου μετά την άμεση είσοδο κρυογονικού υγρού στις σωληνώσεις VI και τον τερματικό εξοπλισμό. Η λειτουργία πρόψυξης πρέπει να λαμβάνεται υπόψη κατά τον σχεδιασμό. Παρέχει καλύτερη προστασία για τον τερματικό εξοπλισμό και τον εξοπλισμό υποστήριξης των σωληνώσεων VI, όπως οι βαλβίδες.
9. Κατάλληλο τόσο για δυναμικό όσο και για στατικό σύστημα σωληνώσεων με μόνωση κενού (εύκαμπτο).
10. Δυναμικό Σύστημα Σωλήνων με Μονωμένη Κενή (Εύκαμπτη) Θωράκιση: Αποτελείται από Εύκαμπτους Σωλήνες VI ή/και Σωλήνα VI, Σωλήνες Βραχυκυκλωτήρα, Σύστημα Βαλβίδων με Μονωμένη Κενή Θωράκιση, Διαχωριστές Φάσεων και Δυναμικό Σύστημα Αντλίας Κενού (συμπεριλαμβανομένων των αντλιών κενού, των ηλεκτρομαγνητικών βαλβίδων και των μετρητών κενού κ.λπ.). Το μήκος του μεμονωμένου Εύκαμπτου Σωλήνα VI μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του χρήστη.
11. Διάφοροι τύποι σύνδεσης: Μπορούν να επιλεγούν ο τύπος σύνδεσης με μπαγιονέτ κενού (VBC) και η συγκολλημένη σύνδεση. Ο τύπος VBC δεν χρειάζεται μονωτική επεξεργασία επί τόπου.
