Τα συστήματα ψύξης υγρού αζώτου χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών και τσιπ, συμπεριλαμβανομένης της διαδικασίας:
- Η τεχνολογία της Επιταξίας Μοριακής Δέσμης (MBE)
- Η δοκιμή του τσιπ μετά τη συσκευασία COB
Σχετικά Προϊόντα
Σειρά σωλήνων με μόνωση κενού
Σειρά εύκαμπτων σωλήνων με μόνωση κενού
Σύστημα δυναμικής αντλίας κενού
Σειρά διαχωριστών φάσης με μόνωση κενού
Σειρά βαλβίδων με μόνωση κενού
Εξοπλισμός Υποστήριξης Συστήματος Σωληνώσεων
ΕΠΙΤΑΞΙΑ ΜΟΡΙΑΚΗΣ ΔΕΣΜΗΣ
Η τεχνολογία της Επιτάξεως Μοριακής Δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1950 για την παρασκευή υλικών λεπτής μεμβράνης ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας εξαιρετικά υψηλού κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Η HL έχει παρατηρήσει τη ζήτηση για σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE, οργανωμένη τεχνική ραχοκοκαλιά για την επιτυχή ανάπτυξη ενός ειδικού συστήματος ψύξης υγρού αζώτου MBE για την τεχνολογία MBE και ενός πλήρους σετ συστήματος σωληνώσεων με μόνωση κενού, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα .
Τα κοινά προβλήματα της βιομηχανίας ημιαγωγών και τσιπ περιλαμβάνουν:
- Η πίεση του υγρού αζώτου στον τερματικό (MBE) εξοπλισμό. Αποτρέψτε την υπερφόρτωση πίεσης από τον καταστροφικό εξοπλισμό τερματικού (MBE).
- Πολλαπλοί κρυογονικοί έλεγχοι εισόδου και εξόδου υγρών
- Η θερμοκρασία του υγρού αζώτου στον τερματικό εξοπλισμό
- Εύλογη ποσότητα εκπομπών κρυογονικών αερίων
- (Αυτόματη) Εναλλαγή Κύριων και Διακλαδικών Γραμμών
- Ρύθμιση πίεσης (Μείωση) και σταθερότητα VIP
- Καθαρισμός των πιθανών ακαθαρσιών και υπολειμμάτων πάγου από τη δεξαμενή
- Χρόνος πλήρωσης του Τερματικού Υγρού Εξοπλισμού
- Προψύξη σωλήνων
- Αντίσταση υγρών σε σύστημα VIP
- Έλεγχος απώλειας υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια της ασυνεχούς συντήρησης του συστήματος
Ο σωλήνας με μόνωση κενού (VIP) της HL είναι κατασκευασμένος σύμφωνα με τον κώδικα σωληνώσεων πίεσης ASME B31.3 ως στάνταρ. Τεχνική εμπειρία και ικανότητα ποιοτικού ελέγχου για τη διασφάλιση της αποδοτικότητας και της σχέσης κόστους-αποτελεσματικότητας του εργοστασίου του πελάτη.
ΛΥΣΕΙΣ
Η HL Cryogenic Equipment παρέχει στους πελάτες το σύστημα σωληνώσεων με μόνωση κενού για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις και τις συνθήκες της βιομηχανίας ημιαγωγών και τσιπ:
1.Σύστημα Διαχείρισης Ποιότητας: ASME B31.3 Κώδικας σωληνώσεων πίεσης.
2.Ένας διαχωριστής ειδικής φάσης με πολλαπλή είσοδο και έξοδο κρυογονικού υγρού με λειτουργία αυτόματου ελέγχου ικανοποιεί την απαίτηση εκπομπής αερίων, ανακυκλωμένου υγρού αζώτου και θερμοκρασίας υγρού αζώτου.
3. Ο επαρκής και έγκαιρος σχεδιασμός της εξάτμισης διασφαλίζει ότι ο τερματικός εξοπλισμός λειτουργεί πάντα εντός της σχεδιασμένης τιμής πίεσης.
4. Το φράγμα αερίου-υγρού τοποθετείται στον κατακόρυφο σωλήνα VI στο τέλος του αγωγού VI. Το Gas-Liquid Barrier χρησιμοποιεί την αρχή της σφράγισης αερίου για να μπλοκάρει τη θερμότητα από το άκρο του αγωγού VI στη σωλήνωση VI και να μειώσει αποτελεσματικά την απώλεια υγρού αζώτου κατά τη διάρκεια της ασυνεχούς και διακοπτόμενης λειτουργίας του συστήματος.
5.VI Σωληνώσεις ελεγχόμενες από τη σειρά μονωμένων βαλβίδων κενού (VIV): Συμπεριλαμβανομένης βαλβίδας διακοπής με μόνωση κενού, βαλβίδα αντεπιστροφής με μόνωση κενού, ρυθμιστική βαλβίδα με μόνωση κενού κ.λπ. Διάφοροι τύποι VIV μπορούν να συνδυαστούν αρθρωτά για τον έλεγχο του VIP ως υποχρεούμαι. Το VIV είναι ενσωματωμένο με την προκατασκευή VIP στον κατασκευαστή, χωρίς επιτόπου μονωμένη επεξεργασία. Η μονάδα στεγανοποίησης του VIV μπορεί να αντικατασταθεί εύκολα. (Η HL αποδέχεται την μάρκα κρυογονικής βαλβίδας που ορίζεται από τους πελάτες και στη συνέχεια κατασκευάζει βαλβίδες με μόνωση κενού από την HL. Ορισμένες μάρκες και μοντέλα βαλβίδων ενδέχεται να μην μπορούν να κατασκευαστούν σε βαλβίδες με μόνωση κενού.)
6.Καθαριότητα, εάν υπάρχουν πρόσθετες απαιτήσεις για την καθαριότητα της επιφάνειας του εσωτερικού σωλήνα. Προτείνεται στους πελάτες να επιλέξουν σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα BA ή EP ως εσωτερικούς σωλήνες VIP για περαιτέρω μείωση της διαρροής από ανοξείδωτο χάλυβα.
7. Φίλτρο με μόνωση κενού: Καθαρίστε τις πιθανές ακαθαρσίες και τα υπολείμματα πάγου από τη δεξαμενή.
8. Μετά από μερικές ημέρες ή μεγαλύτερη διακοπή λειτουργίας ή συντήρηση, είναι πολύ απαραίτητο να προψύξετε τον εξοπλισμό VI Piping και τον τερματικό εξοπλισμό πριν εισέλθει το κρυογονικό υγρό, έτσι ώστε να αποφευχθεί η σκωρία πάγου μετά την απευθείας είσοδο του κρυογονικού υγρού στις σωληνώσεις VI και στον τερματικό εξοπλισμό. Η λειτουργία προψύξης θα πρέπει να λαμβάνεται υπόψη στο σχεδιασμό. Παρέχει καλύτερη προστασία για τον τερματικό εξοπλισμό και τον εξοπλισμό υποστήριξης σωληνώσεων VI, όπως βαλβίδες.
9.Suit τόσο για δυναμικό όσο και για στατικό σύστημα σωληνώσεων με μόνωση κενού (ευέλικτο).
10. Δυναμικό σύστημα σωληνώσεων με μόνωση κενού: Αποτελείται από εύκαμπτους σωλήνες VI ή/και σωλήνες VI, εύκαμπτους σωλήνες, σύστημα βαλβίδων με μόνωση κενού, διαχωριστές φάσης και σύστημα δυναμικής αντλίας κενού (συμπεριλαμβανομένων των αντλιών κενού, των ηλεκτρομαγνητικών βαλβίδων και των μετρητών κενού κ.λπ. ). Το μήκος του απλού εύκαμπτου σωλήνα VI μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του χρήστη.
11.Διάφοροι τύποι σύνδεσης: Ο τύπος σύνδεσης με μπαγιονέτ κενού (VBC) και η συγκολλημένη σύνδεση μπορούν να επιλεγούν. Ο τύπος VBC δεν χρειάζεται επιτόπου μονωμένη επεξεργασία.
