Τεχνολογία
Η επιταξία μοριακής δέσμης, ή MBE, είναι μια νέα τεχνική για την ανάπτυξη λεπτών υμενίων κρυστάλλων υψηλής ποιότητας σε κρυσταλλικά υποστρώματα. Σε συνθήκες εξαιρετικά υψηλού κενού, η θερμάστρα είναι εξοπλισμένη με όλα τα είδη των απαραίτητων εξαρτημάτων και παράγει ατμό, μέσω οπών που σχηματίζονται μετά την ευθυγράμμιση της δέσμης με ατομική ή μοριακή δέσμη, απευθείας έγχυση στην κατάλληλη θερμοκρασία του μονοκρυσταλλικού υποστρώματος, ελέγχοντας ταυτόχρονα τη σάρωση της μοριακής δέσμης στο υπόστρωμα, μπορεί να κάνει τα μόρια ή τα άτομα στα στρώματα ευθυγράμμισης κρυστάλλων να σχηματίσουν μια λεπτή μεμβράνη σε ένα υπόστρωμα.
Για την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού MBE, απαιτείται η συνεχής και σταθερή μεταφορά υγρού αζώτου υψηλής καθαρότητας, χαμηλής πίεσης και εξαιρετικά καθαρού στον θάλαμο ψύξης του εξοπλισμού. Γενικά, μια δεξαμενή που παρέχει υγρό άζωτο έχει πίεση εξόδου μεταξύ 0,3MPa και 0,8MPa. Το υγρό άζωτο στους -196℃ εξατμίζεται εύκολα σε άζωτο κατά τη μεταφορά μέσω αγωγού. Μόλις το υγρό άζωτο με αναλογία αερίου-υγρού περίπου 1:700 αεριοποιηθεί στον αγωγό, θα καταλάβει μεγάλη ποσότητα χώρου ροής υγρού αζώτου και θα μειώσει την κανονική ροή στο τέλος του αγωγού υγρού αζώτου. Επιπλέον, στη δεξαμενή αποθήκευσης υγρού αζώτου, είναι πιθανό να υπάρχουν υπολείμματα που δεν έχουν καθαριστεί. Στον αγωγό υγρού αζώτου, η ύπαρξη υγρού αέρα θα οδηγήσει επίσης στη δημιουργία σκωρίας πάγου. Εάν αυτές οι ακαθαρσίες εκκενωθούν στον εξοπλισμό, θα προκληθούν απρόβλεπτες ζημιές στον εξοπλισμό.
Επομένως, το υγρό άζωτο στην εξωτερική δεξαμενή αποθήκευσης μεταφέρεται στον εξοπλισμό MBE στο εργαστήριο χωρίς σκόνη με υψηλή απόδοση, σταθερότητα και καθαρό, και η χαμηλή πίεση, χωρίς άζωτο, χωρίς ακαθαρσίες, 24 ώρες χωρίς διακοπή, ένα τέτοιο σύστημα ελέγχου μεταφοράς είναι ένα κατάλληλο προϊόν.



Αντίστοιχος εξοπλισμός MBE
Από το 2005, η HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) βελτιστοποιεί και βελτιώνει αυτό το σύστημα και συνεργάζεται με διεθνείς κατασκευαστές εξοπλισμού MBE. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένων των DCA και REBER, έχουν σχέσεις συνεργασίας με την εταιρεία μας. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένων των DCA και REBER, έχουν συνεργαστεί σε μεγάλο αριθμό έργων.
Η Riber SA είναι ένας κορυφαίος παγκόσμιος πάροχος προϊόντων επιταξίας μοριακής δέσμης (MBE) και συναφών υπηρεσιών για έρευνα σύνθετων ημιαγωγών και βιομηχανικές εφαρμογές. Η συσκευή Riber MBE μπορεί να εναποθέσει πολύ λεπτά στρώματα υλικού στο υπόστρωμα, με πολύ υψηλούς ελέγχους. Ο εξοπλισμός κενού της HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) είναι εξοπλισμένος με Riber SA. Ο μεγαλύτερος εξοπλισμός είναι ο Riber 6000 και ο μικρότερος είναι ο Compact 21. Είναι σε καλή κατάσταση και έχει αναγνωριστεί από τους πελάτες.
Το DCA είναι το κορυφαίο MBE οξειδίου στον κόσμο. Από το 1993, έχει πραγματοποιηθεί συστηματική ανάπτυξη τεχνικών οξείδωσης, θέρμανσης αντιοξειδωτικού υποστρώματος και πηγών αντιοξειδωτικών. Για αυτόν τον λόγο, πολλά κορυφαία εργαστήρια έχουν επιλέξει την τεχνολογία οξειδίου DCA. Συστήματα MBE σύνθετων ημιαγωγών χρησιμοποιούνται σε όλο τον κόσμο. Το σύστημα κυκλοφορίας υγρού αζώτου VJ της HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) και ο εξοπλισμός MBE πολλαπλών μοντέλων DCA έχουν την αντίστοιχη εμπειρία σε πολλά έργα, όπως τα μοντέλα P600, R450, SGC800 κ.λπ.

Πίνακας απόδοσης
Ινστιτούτο Τεχνικής Φυσικής της Σαγκάης, Κινεζική Ακαδημία Επιστημών |
Το 11ο Ινστιτούτο της Κινεζικής Εταιρείας Ηλεκτρονικής Τεχνολογίας |
Ινστιτούτο Ημιαγωγών, Κινεζική Ακαδημία Επιστημών |
Huawei |
Ακαδημία Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Δέλτα Ηλεκτρονικά Α.Ε. |
Suzhou Everbright Photonics |
Ώρα δημοσίευσης: 26 Μαΐου 2021