Το έργο Chip MBE ολοκληρώθηκε τα τελευταία χρόνια

Τεχνολογία

Η επιταξία μοριακής δέσμης, ή MBE, είναι μια νέα τεχνική για την ανάπτυξη λεπτών μεμβρανών υψηλής ποιότητας κρυστάλλων σε κρυστάλλινα υποστρώματα. Σε συνθήκες εξαιρετικά υψηλού κενού, με τη σόμπα θέρμανσης είναι εξοπλισμένη με όλα τα είδη των απαιτούμενων εξαρτημάτων και δημιουργούν ατμό, μέσω οπών που σχηματίζονται μετά από ατομική δέσμη ή μοριακή δέσμη, άμεση έγχυση στην κατάλληλη θερμοκρασία του ενιαίου κρυσταλλικού υποστρώματος, ελέγχοντας τη μοριακή δέσμη να Η σάρωση υποστρώματος ταυτόχρονα, μπορεί να κάνει τα μόρια ή τα άτομα σε στρώματα ευθυγράμμισης κρυστάλλων για να σχηματίσουν ένα λεπτό φιλμ σε ένα υπόστρωμα "ανάπτυξη".

Για την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού MBE, η υψηλή καθαρότητα, η χαμηλή πίεση και το εξαιρετικά καθαρό υγρό άζωτο πρέπει να μεταφέρονται συνεχώς και σταθερά στον θάλαμο ψύξης του εξοπλισμού. Γενικά, μια δεξαμενή που παρέχει υγρό άζωτο έχει πίεση εξόδου μεταξύ 0,3MPa και 0,8MPa.liquid αζώτου στα -196 ℃ εύκολα εξατμίζεται σε άζωτο κατά τη μεταφορά αγωγών. Μόλις το υγρό άζωτο με αναλογία αερίου-υγρού περίπου 1: 700 είναι αεριοποιημένη υπό τον αγωγό, θα καταλαμβάνει μια μεγάλη ποσότητα χώρου ροής υγρού αζώτου και θα μειώσει την κανονική ροή στο τέλος του αγωγού υγρού αζώτου. Επιπλέον, στη δεξαμενή αποθήκευσης υγρού αζώτου, είναι πιθανό να υπάρχουν συντρίμμια που δεν έχουν καθαριστεί. Στον αγωγό υγρού αζώτου, η ύπαρξη υγρού αέρα θα οδηγήσει επίσης στη δημιουργία σκωρίας πάγου. Εάν αυτές οι ακαθαρσίες αποφορτιστούν στον εξοπλισμό, θα προκαλέσει απρόβλεπτη ζημιά στον εξοπλισμό.

Ως εκ τούτου, το υγρό άζωτο στην υπαίθρια δεξαμενή αποθήκευσης μεταφέρεται στον εξοπλισμό MBE στο εργαστήριο χωρίς σκόνη με υψηλή απόδοση, σταθερότητα και καθαρό, και η χαμηλή πίεση, χωρίς άζωτο, χωρίς ακαθαρσίες, 24 ώρες αδιάλειπτο, αυτό το σύστημα ελέγχου μεταφοράς είναι ένα εξειδικευμένο προϊόν.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Ταιριάζει με εξοπλισμό MBE

Από το 2005, ο HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) βελτιστοποιεί και βελτιώνει αυτό το σύστημα και συνεργάζεται με τους διεθνείς κατασκευαστές εξοπλισμού MBE. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένου του DCA, REBER, έχουν σχέσεις συνεργασίας με την εταιρεία μας. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένων των DCA και REBER, συνεργάστηκαν σε μεγάλο αριθμό έργων.

Η RIBER SA είναι ένας κορυφαίος παγκόσμιος πάροχος προϊόντων επιταξίας μοριακής δέσμης (MBE) και συναφείς υπηρεσίες για ένωση ερευνών ημιαγωγών και βιομηχανικές εφαρμογές. Η συσκευή RIBER MBE μπορεί να καταθέσει πολύ λεπτά στρώματα υλικού στο υπόστρωμα, με πολύ υψηλά στοιχεία ελέγχου. Ο εξοπλισμός κενού του HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) είναι εξοπλισμένος με RIBER SA Ο μεγαλύτερος εξοπλισμός είναι το RIBER 6000 και το μικρότερο είναι συμπαγές 21. Είναι σε καλή κατάσταση και έχει αναγνωριστεί από τους πελάτες.

Το DCA είναι το κορυφαίο οξείδιο του κόσμου MBE. Από το 1993, πραγματοποιήθηκε συστηματική ανάπτυξη τεχνικών οξείδωσης, αντιοξειδωτικής θέρμανσης υποστρώματος και αντιοξειδωτικών πηγών. Για το λόγο αυτό, πολλά κορυφαία εργαστήρια έχουν επιλέξει τεχνολογία οξειδίου DCA. Χρησιμοποιούνται σύνθετα συστήματα Semiconductor MBE σε όλο τον κόσμο. Το σύστημα κυκλοφορίας αζώτου VJ υγρού του HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) και ο εξοπλισμός MBE πολλαπλών μοντέλων DCA έχουν την αντίστοιχη εμπειρία σε πολλά έργα, όπως το μοντέλο P600, R450, SGC800 κ.λπ.

TCM (2)

Πίνακας επιδόσεων

Ινστιτούτο Τεχνικής Φυσικής της Σαγκάης, Κινεζική Ακαδημία Επιστημών
Το 11ο Ινστιτούτο Κίνας Ηλεκτρονικής Τεχνολογίας Corporation
Ινστιτούτο ημιαγωγών, κινεζική Ακαδημία Επιστημών
Χουάουι
Ακαδημία Alibaba Damo
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Φωτονική Suzhou Everbright

Χρόνος δημοσίευσης: Μάιος-26-2021

Αφήστε το μήνυμά σας