Το έργο Chip MBE που ολοκληρώθηκε τα περασμένα χρόνια

Τεχνολογία

Η επιταξία μοριακής δέσμης, ή MBE, είναι μια νέα τεχνική για την ανάπτυξη λεπτών υμενίων κρυστάλλων υψηλής ποιότητας σε κρυσταλλικά υποστρώματα. Σε συνθήκες εξαιρετικά υψηλού κενού, η σόμπα θέρμανσης είναι εξοπλισμένη με όλα τα είδη των απαιτούμενων εξαρτημάτων και παράγει ατμό, μέσω οπών που σχηματίζονται μετά από ευθυγράμμιση ατομικής ή μοριακής δέσμης, άμεση έγχυση στην κατάλληλη θερμοκρασία του μονοκρυσταλλικού υποστρώματος, έλεγχος της μοριακής δέσμης η σάρωση του υποστρώματος ταυτόχρονα, μπορεί να κάνει τα μόρια ή τα άτομα σε στρώματα ευθυγράμμισης κρυστάλλων για να σχηματίσουν μια λεπτή μεμβράνη σε ένα υπόστρωμα «ανάπτυξη».

Για την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού MBE, απαιτείται συνεχής και σταθερή μεταφορά υγρού αζώτου υψηλής καθαρότητας, χαμηλής πίεσης και εξαιρετικά καθαρού στον ψυκτικό θάλαμο του εξοπλισμού. Γενικά, μια δεξαμενή που παρέχει υγρό άζωτο έχει πίεση εξόδου μεταξύ 0,3 MPa και 0,8 MPa. Το υγρό άζωτο στους -196℃ εξατμίζεται εύκολα σε άζωτο κατά τη μεταφορά με αγωγό. Μόλις το υγρό άζωτο με αναλογία αερίου-υγρού περίπου 1:700 αεριοποιηθεί στον αγωγό, θα καταλάβει μεγάλη ποσότητα χώρου ροής υγρού αζώτου και θα μειώσει την κανονική ροή στο τέλος του αγωγού υγρού αζώτου. Επιπλέον, στη δεξαμενή αποθήκευσης υγρού αζώτου, είναι πιθανό να υπάρχουν υπολείμματα που δεν έχουν καθαριστεί. Στον αγωγό υγρού αζώτου, η ύπαρξη υγρού αέρα θα οδηγήσει επίσης στη δημιουργία σκωρίας πάγου. Εάν αυτές οι ακαθαρσίες εκκενωθούν στον εξοπλισμό, θα προκληθεί απρόβλεπτη ζημιά στον εξοπλισμό.

Επομένως, το υγρό άζωτο στην εξωτερική δεξαμενή αποθήκευσης μεταφέρεται στον εξοπλισμό MBE στο εργαστήριο χωρίς σκόνη με υψηλή απόδοση, σταθερότητα και καθαρότητα, και η χαμηλή πίεση, χωρίς άζωτο, χωρίς ακαθαρσίες, 24 ώρες αδιάκοπα, τέτοιο σύστημα ελέγχου μεταφοράς είναι πιστοποιημένο προϊόν.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Ταίριασμα εξοπλισμού MBE

Από το 2005, η HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) βελτιστοποιεί και βελτιώνει αυτό το σύστημα και συνεργάζεται με διεθνείς κατασκευαστές εξοπλισμού MBE. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένων των DCA, REBER, έχουν σχέσεις συνεργασίας με την εταιρεία μας. Οι κατασκευαστές εξοπλισμού MBE, συμπεριλαμβανομένων των DCA και REBER, έχουν συνεργαστεί σε μεγάλο αριθμό έργων.

Η Riber SA είναι κορυφαίος παγκόσμιος πάροχος προϊόντων επιτάξεως μοριακής δέσμης (MBE) και σχετικών υπηρεσιών για έρευνα σύνθετων ημιαγωγών και βιομηχανικές εφαρμογές. Η συσκευή Riber MBE μπορεί να εναποθέσει πολύ λεπτές στρώσεις υλικού στο υπόστρωμα, με πολύ υψηλά χειριστήρια. Ο εξοπλισμός κενού της HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) είναι εξοπλισμένος με Riber SA Ο μεγαλύτερος εξοπλισμός είναι ο Riber 6000 και ο μικρότερος είναι ο Compact 21. Είναι σε καλή κατάσταση και έχει αναγνωριστεί από τους πελάτες.

Η DCA είναι η κορυφαία MBE οξειδίων στον κόσμο. Από το 1993 έχει γίνει συστηματική ανάπτυξη τεχνικών οξείδωσης, θέρμανσης αντιοξειδωτικού υποστρώματος και αντιοξειδωτικών πηγών. Για το λόγο αυτό, πολλά κορυφαία εργαστήρια έχουν επιλέξει την τεχνολογία οξειδίων DCA. Τα σύνθετα συστήματα MBE ημιαγωγών χρησιμοποιούνται σε όλο τον κόσμο. Το σύστημα κυκλοφορίας υγρού αζώτου VJ της HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) και ο εξοπλισμός MBE πολλαπλών μοντέλων DCA έχουν την αντίστοιχη εμπειρία σε πολλά έργα, όπως το μοντέλο P600, R450, SGC800 κ.λπ.

tcm (2)

Πίνακας επιδόσεων

Ινστιτούτο Τεχνικής Φυσικής της Σαγκάης, Κινεζική Ακαδημία Επιστημών
Το 11ο Institute of China Electronics Technology Corporation
Ινστιτούτο Ημιαγωγών, Κινεζική Ακαδημία Επιστημών
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Ώρα δημοσίευσης: 26 Μαΐου 2021

Αφήστε το μήνυμά σας