Σύντομη Επιταξία Μοριακής Δέσμης (MBE)
Η τεχνολογία της Επιτάξεως Μοριακής Δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1950 για την παρασκευή υλικών λεπτής μεμβράνης ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας εξαιρετικά υψηλού κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Το κίνητρο της έρευνας υλικών ημιαγωγών είναι η ζήτηση για νέες συσκευές, οι οποίες μπορεί να βελτιώσουν την απόδοση του συστήματος. Με τη σειρά της, η νέα τεχνολογία υλικών μπορεί να παράγει νέο εξοπλισμό και νέα τεχνολογία. Η επιταξία μοριακής δέσμης (MBE) είναι μια τεχνολογία υψηλού κενού για την ανάπτυξη επιταξιακού στρώματος (συνήθως ημιαγωγών). Χρησιμοποιεί τη θερμική δέσμη ατόμων ή μορίων πηγής που προσκρούουν σε μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα. Τα εξαιρετικά υψηλά χαρακτηριστικά κενού της διαδικασίας επιτρέπουν την επιτόπια επιμετάλλωση και την ανάπτυξη μονωτικών υλικών σε επιφάνειες ημιαγωγών που έχουν αναπτυχθεί πρόσφατα, με αποτέλεσμα διεπαφές χωρίς ρύπανση.
Τεχνολογία MBE
Η επιταξία μοριακής δέσμης πραγματοποιήθηκε σε υψηλό κενό ή εξαιρετικά υψηλό κενό (1 x 10-8Πα) περιβάλλον. Η πιο σημαντική πτυχή της επιταξίας μοριακής δέσμης είναι ο χαμηλός ρυθμός απόθεσης, ο οποίος συνήθως επιτρέπει στο φιλμ να αναπτύσσεται επιταξιακά με ρυθμό μικρότερο από 3000 nm ανά ώρα. Ένας τόσο χαμηλός ρυθμός εναπόθεσης απαιτεί αρκετά υψηλό κενό για να επιτευχθεί το ίδιο επίπεδο καθαριότητας με άλλες μεθόδους εναπόθεσης.
Για να ανταποκριθεί στο εξαιρετικά υψηλό κενό που περιγράφεται παραπάνω, η συσκευή MBE (κυψέλη Knudsen) διαθέτει στρώμα ψύξης και το περιβάλλον εξαιρετικά υψηλού κενού του θαλάμου ανάπτυξης πρέπει να διατηρηθεί χρησιμοποιώντας ένα σύστημα κυκλοφορίας υγρού αζώτου. Το υγρό άζωτο ψύχει την εσωτερική θερμοκρασία της συσκευής στους 77 Kelvin (−196 °C). Το περιβάλλον χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να μειώσει περαιτέρω την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες στο κενό και να παρέχει καλύτερες συνθήκες για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών. Επομένως, απαιτείται ένα αποκλειστικό σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου για τον εξοπλισμό MBE ώστε να παρέχει συνεχή και σταθερή παροχή υγρού αζώτου -196 °C.
Σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου
Το σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου κενού περιλαμβάνει κυρίως,
● κρυογονική δεξαμενή
● κύριος και διακλαδωτής σωλήνας με μανδύα κενού / σωλήνας με επένδυση κενού
● Διαχωριστής ειδικής φάσης MBE και σωλήνας εξάτμισης με μανδύα κενού
● διάφορες βαλβίδες με μανδύα κενού
● φράγμα αερίου-υγρού
● φίλτρο με κενό μανδύα
● Δυναμικό σύστημα αντλίας κενού
● Σύστημα προψύξης και αναθέρμανσης καθαρισμού
Η HL Cryogenic Equipment Company έχει παρατηρήσει τη ζήτηση για σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE, οργανωμένη τεχνική ραχοκοκαλιά για την επιτυχή ανάπτυξη ενός ειδικού συστήματος ψύξης υγρού αζώτου MBE για την τεχνολογία MBE και ενός πλήρους σετ μόνωσης κενούedσύστημα σωληνώσεων, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα.
HL Cryogenic Equipment
Η HL Cryogenic Equipment που ιδρύθηκε το 1992 είναι μια μάρκα που συνδέεται με την Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company στην Κίνα. Η HL Cryogenic Equipment δεσμεύεται για το σχεδιασμό και την κατασκευή του συστήματος κρυογονικών σωληνώσεων με μόνωση υψηλού κενού και του σχετικού εξοπλισμού υποστήριξης.
Για περισσότερες πληροφορίες, επισκεφθείτε την επίσημη ιστοσελίδαwww.hlcryo.com, ή email στοinfo@cdholy.com.
Ώρα δημοσίευσης: Μάιος-06-2021
