Σύντομη επιταξία μοριακής δέσμης (MBE)
Η τεχνολογία της επιταξίας της μοριακής δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε στη δεκαετία του 1950 για την προετοιμασία υλικών λεπτών φιλμ ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της εξαιρετικά υψηλής τεχνολογίας κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Το κίνητρο της έρευνας των υλικών ημιαγωγών είναι η ζήτηση για νέες συσκευές, η οποία μπορεί να βελτιώσει την απόδοση του συστήματος. Με τη σειρά του, η νέα τεχνολογία υλικών μπορεί να παράγει νέο εξοπλισμό και νέα τεχνολογία. Η επιταξία μοριακής δέσμης (MBE) είναι μια υψηλή τεχνολογία κενού για την επιταξιακή στρώση (συνήθως ημιαγωγού). Χρησιμοποιεί τη δέσμη θερμότητας των ατόμων πηγής ή των μορίων που επηρεάζουν το υπόστρωμα ενός κρυσταλλικού. Τα εξαιρετικά υψηλά χαρακτηριστικά κενού της διαδικασίας επιτρέπουν την επιτόπια μεταλλοποίηση και την ανάπτυξη μονωτικών υλικών σε νεοεκτεινόμενες επιφάνειες ημιαγωγών, με αποτέλεσμα διασυνδέσεις χωρίς ρύπανση.
Τεχνολογία MBE
Η επιταξία μοριακής δέσμης πραγματοποιήθηκε σε υψηλό κενό ή εξαιρετικά υψηλό κενό (1 x 10-8PA) περιβάλλον. Η πιο σημαντική πτυχή της επιταξίας της μοριακής δέσμης είναι ο χαμηλός ρυθμός εναπόθεσης, ο οποίος συνήθως επιτρέπει στην μεμβράνη να αναπτύσσεται με επιταξιακό σε ρυθμό μικρότερο από 3000 nm ανά ώρα. Ένας τέτοιος χαμηλός ρυθμός εναπόθεσης απαιτεί αρκετά υψηλό κενό για να επιτευχθεί το ίδιο επίπεδο καθαριότητας με άλλες μεθόδους εναπόθεσης.
Για να καλύψει το εξαιρετικά υψηλό κενό που περιγράφεται παραπάνω, η συσκευή MBE (κύτταρο Knudsen) διαθέτει στρώμα ψύξης και το περιβάλλον κενού υψηλής κενού του θαλάμου ανάπτυξης πρέπει να διατηρείται χρησιμοποιώντας ένα σύστημα κυκλοφορίας υγρού αζώτου. Το υγρό άζωτο ψύχει την εσωτερική θερμοκρασία της συσκευής σε 77 kelvin (-196 ° C). Το περιβάλλον χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να μειώσει περαιτέρω το περιεχόμενο των ακαθαρσιών σε κενό και να παράσχει καλύτερες συνθήκες για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών. Ως εκ τούτου, απαιτείται ένα ειδικό σύστημα κυκλοφορίας ψύξης αζώτου υγρού για τον εξοπλισμό MBE για να παρέχει μια συνεχή και σταθερή παροχή υγρού αζώτου -196 ° C.
Σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου
Το σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου κενού περιλαμβάνει κυρίως, περιλαμβάνει,
● Κρυογονική δεξαμενή
● Κύρια και διακλάδωση κενού σωληνώσεων / σακάκι κενού
● MBE Special Phase Separator και σωλήνας εξάτμισης με κενό
● Διάφορες βαλβίδες κενού
● φράγμα αερίου-υγρού
● φίλτρο κενού
● Σύστημα δυναμικής αντλίας κενού
● Πρότυπο και καθαρισμό συστήματος αναθέρμανσης
Η HL Cryogenic Equipment Company έχει παρατηρήσει τη ζήτηση του συστήματος ψύξης υγρού αζώτου MBE, οργανωμένη τεχνική ραχοκοκαλιά για την επιτυχή ανάπτυξη ενός ειδικού συστήματος MBE υγρού αζώτου για τεχνολογία MBE και ένα πλήρες σύνολο ινσουλίου κενούedΣύστημα σωληνώσεων, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ινστιτούτα.
HL κρυογονικός εξοπλισμός
Το HL Cryogenic Equipment που ιδρύθηκε το 1992 είναι ένα εμπορικό σήμα που συνδέεται με την Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company στην Κίνα. Ο κρυογονικός εξοπλισμός HL δεσμεύεται για το σχεδιασμό και την κατασκευή του συστήματος κρυογονικών σωληνώσεων υψηλού κενού και του σχετικού εξοπλισμού υποστήριξης.
Για περισσότερες πληροφορίες, επισκεφθείτε τον επίσημο ιστότοποwww.hlcryo.com, ή email στοinfo@cdholy.com.
Χρόνος δημοσίευσης: Μάιος-06-2021
