Σύντομη περιγραφή της επιταξίας μοριακής δέσμης (MBE)
Η τεχνολογία της Μοριακής Επιταξίας Δέσμης (MBE) αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1950 για την παρασκευή υλικών λεπτών υμενίων ημιαγωγών χρησιμοποιώντας τεχνολογία εξάτμισης κενού. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας εξαιρετικά υψηλού κενού, η εφαρμογή της τεχνολογίας έχει επεκταθεί στον τομέα της επιστήμης των ημιαγωγών.
Το κίνητρο της έρευνας για τα ημιαγωγικά υλικά είναι η ζήτηση για νέες συσκευές, οι οποίες μπορούν να βελτιώσουν την απόδοση του συστήματος. Με τη σειρά της, η νέα τεχνολογία υλικών μπορεί να παράγει νέο εξοπλισμό και νέα τεχνολογία. Η επιταξία μοριακής δέσμης (MBE) είναι μια τεχνολογία υψηλού κενού για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων (συνήθως ημιαγωγών). Χρησιμοποιεί τη δέσμη θερμότητας των ατόμων ή μορίων πηγής που προσκρούουν σε μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα. Τα εξαιρετικά υψηλά χαρακτηριστικά κενού της διαδικασίας επιτρέπουν την επιτόπια μεταλλοποίηση και την ανάπτυξη μονωτικών υλικών σε νεοαναπτυγμένες επιφάνειες ημιαγωγών, με αποτέλεσμα διεπαφές χωρίς ρύπανση.
Τεχνολογία MBE
Η επιταξία μοριακής δέσμης πραγματοποιήθηκε σε υψηλό κενό ή εξαιρετικά υψηλό κενό (1 x 10-8Pa) περιβάλλον. Η πιο σημαντική πτυχή της επιταξίας μοριακής δέσμης είναι ο χαμηλός ρυθμός εναπόθεσης, ο οποίος συνήθως επιτρέπει στην μεμβράνη να αναπτύσσεται επιταξιακά με ρυθμό μικρότερο από 3000 nm ανά ώρα. Ένας τόσο χαμηλός ρυθμός εναπόθεσης απαιτεί αρκετά υψηλό κενό για να επιτευχθεί το ίδιο επίπεδο καθαριότητας με άλλες μεθόδους εναπόθεσης.
Για να επιτευχθεί το εξαιρετικά υψηλό κενό που περιγράφεται παραπάνω, η συσκευή MBE (κύτταρο Knudsen) διαθέτει ένα στρώμα ψύξης και το περιβάλλον εξαιρετικά υψηλού κενού του θαλάμου ανάπτυξης πρέπει να διατηρείται χρησιμοποιώντας ένα σύστημα κυκλοφορίας υγρού αζώτου. Το υγρό άζωτο ψύχει την εσωτερική θερμοκρασία της συσκευής στους 77 Kelvin (−196 °C). Το περιβάλλον χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να μειώσει περαιτέρω την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες στο κενό και να παρέχει καλύτερες συνθήκες για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών. Επομένως, απαιτείται ένα ειδικό σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου για τον εξοπλισμό MBE, ώστε να παρέχει συνεχή και σταθερή παροχή υγρού αζώτου στους -196 °C.
Σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου
Το σύστημα κυκλοφορίας ψύξης υγρού αζώτου κενού περιλαμβάνει κυρίως,
● κρυογονική δεξαμενή
● Κύριος και διακλαδωμένος σωλήνας με επένδυση κενού / εύκαμπτος σωλήνας με επένδυση κενού
● Ειδικός διαχωριστής φάσεων MBE και σωλήνας εξάτμισης με μανδύα κενού
● διάφορες βαλβίδες με μανδύα κενού
● φράγμα αερίου-υγρού
● φίλτρο με περίβλημα κενού
● δυναμικό σύστημα αντλίας κενού
● Σύστημα πρόψυξης και επαναθέρμανσης καθαρισμού
Η εταιρεία HL Cryogenic Equipment Company έχει παρατηρήσει τη ζήτηση για σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE, έχει οργανώσει την τεχνική της υποδομή για να αναπτύξει με επιτυχία ένα ειδικό σύστημα ψύξης υγρού αζώτου MBE για τεχνολογία MBE και ένα πλήρες σετ μονωτικών κενού.edσύστημα σωληνώσεων, το οποίο έχει χρησιμοποιηθεί σε πολλές επιχειρήσεις, πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα.
Κρυογονικός Εξοπλισμός HL
Η HL Cryogenic Equipment, η οποία ιδρύθηκε το 1992, είναι μια μάρκα συνδεδεμένη με την Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company στην Κίνα. Η HL Cryogenic Equipment έχει δεσμευτεί για το σχεδιασμό και την κατασκευή του συστήματος κρυογονικών σωληνώσεων με μόνωση υψηλού κενού και του σχετικού εξοπλισμού υποστήριξης.
Για περισσότερες πληροφορίες, επισκεφθείτε την επίσημη ιστοσελίδαwww.hlcryo.comή στείλτε email στη διεύθυνσηinfo@cdholy.com.
Ώρα δημοσίευσης: 06 Μαΐου 2021
