Καθώς οι κατασκευαστές ημιαγωγών συνεχίζουν να κινούνται προς προηγμένες τεχνολογίες συσκευασίας, όπως η ενσωμάτωση chiplet, η σύνδεση flip-chip και οι αρχιτεκτονικές τρισδιάστατων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (IC), η ανάγκη για εξαιρετικά αξιόπιστη κρυογονική υποδομή έχει γίνει πιο επιτακτική από ποτέ. Σε αυτό το περιβάλλον, τα συστήματα που βασίζονται σε...HL ΚρυογονικόΟ σωλήνας με μανδύα κενού, ο μονωμένος σωλήνας, ο διαχωριστής, η βαλβίδα και το κιβώτιο βαλβίδων παίζουν θεμελιώδη ρόλο στη διατήρηση της θερμικής ακρίβειας και της λειτουργικής σταθερότητας.

Κρυογονικός έλεγχος σε γραμμές συσκευασίας υψηλής ακρίβειας

Η σύγχρονη συσκευασία και δοκιμή τσιπ συχνά περιλαμβάνει έκθεση σε ακραίες διακυμάνσεις θερμοκρασίας, ειδικά κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου, του ελέγχου αξιοπιστίας και του χαρακτηρισμού σε χαμηλή θερμοκρασία. Η κύρια λειτουργία ενός HL Cryogenicσωλήνας με μόνωση κενούείναι η παροχή κρυογονικού υγρού, συνήθως υγρού αζώτου, ελαχιστοποιώντας παράλληλα την εισροή θερμότητας από το περιβάλλον καθαρό δωμάτιο.

Χάρη στο υψηλό επίπεδο κενού και τον σχεδιασμό μόνωσης πολλαπλών στρώσεων, το HL Cryogenicσωλήνας με μανδύα κενούΤο σύστημα καταστέλλει αποτελεσματικά τη διαρροή θερμότητας, διατηρώντας το ρευστό σε σταθερή υγρή φάση σε μεγάλες αποστάσεις. Αυτό εξασφαλίζει συνεπή απόδοση ψύξης σε πολλαπλούς σταθμούς δοκιμών, εξαλείφοντας την απόκλιση θερμοκρασίας που διαφορετικά θα μπορούσε να επηρεάσει τα δεδομένα απόδοσης των ημιαγωγών.

Σε περιβάλλοντα δοκιμών ευαίσθητα στην κόπωση, ακόμη και μια μικρή διακύμανση της θερμοκρασίας μπορεί να επηρεάσει την ακρίβεια των μετρήσεων. Αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο περισσότερες εγκαταστάσεις δοκιμών στρέφονται σε συστήματα σωλήνων HL Cryogenic με μόνωση κενού ως μακροπρόθεσμη λύση για σταθερή κρυογονική παροχή.

Σταθερότητα φάσης εγγυημένη απόΔιαχωριστής Φάσεων

Κατά τη λειτουργία, μέρος του κρυογονικού υγρού αναπόφευκτα εξατμίζεται καθώς απορροφά θερμότητα περιβάλλοντος. Ένα HL Cryogenicδιαχωριστής φάσηςπαίζει κρίσιμο ρόλο διαχωρίζοντας τον ατμό από το υγρό πριν φτάσει στον κρίσιμο εξοπλισμό. Αυτό διασφαλίζει ότι μόνο υποψυχθέν υγρό εισέρχεται σε ευαίσθητους θαλάμους δοκιμών και σταθμούς ανιχνευτών.

Αποτρέποντας τη ροή δύο φάσεων, ο κρυογονικός διαχωριστής φάσεων HL βελτιώνει σημαντικά την επαναληψιμότητα της διεργασίας και προστατεύει τα κατάντη εξαρτήματα ελέγχου από την αστάθεια της ροής. Αυτό αποκτά ολοένα και μεγαλύτερη σημασία καθώς οι γεωμετρίες των συσκευών συρρικνώνονται και τα παράθυρα ανοχής γίνονται μικρότερα στις προηγμένες τεχνολογίες κόμβων.

Λειτουργική Ασφάλεια που Διαχειρίζεται απόΒαλβίδακαιΚουτί βαλβίδας

Η ροή και η πίεση των κρυογονικών υγρών εντός του συστήματος σωληνώσεων με μανδύα κενού HL Cryogenic ρυθμίζονται χρησιμοποιώντας ειδικά κατασκευασμένες κρυογονικές βαλβίδες HL. Αυτά τα εξαρτήματα έχουν σχεδιαστεί για να λειτουργούν αξιόπιστα σε εξαιρετικά χαμηλές θερμοκρασίες και γρήγορες θερμικές μεταβάσεις.

Για την περαιτέρω βελτίωση της ασφάλειας και της προσβασιμότητας του συστήματος, κάθε κρυογονική βαλβίδα HL στεγάζεται μέσα σε ένα μονωμένο κουτί κρυογονικής βαλβίδας HL. Το κουτί βαλβίδας προστατεύει τη βαλβίδα από την εισροή υγρασίας, μειώνει τη συσσώρευση παγετού και επιτρέπει στους τεχνικούς να εκτελούν επιθεωρήσεις και ρυθμίσεις χωρίς να διαταράσσουν τη θερμική ισορροπία των γύρω περιοχών.

Αυτή η συμπαγής, αρθρωτή διαμόρφωση ευθυγραμμίζεται επίσης καλά με τους αυστηρούς χωρικούς περιορισμούς που είναι συνηθισμένοι σε μονάδες συσκευασίας ημιαγωγών και σε περιβάλλοντα καθαρών χώρων.

Μια έξυπνη επιλογή υποδομής για προηγμένες εγκαταστάσεις ημιαγωγών

Καθώς η βιομηχανία ωθείται προς υψηλότερη πυκνότητα ολοκλήρωσης και πιο απαιτητικά πρότυπα δοκιμών, η κρυογονική υποδομή δεν αποτελεί πλέον δευτερεύουσα προτεραιότητα. Οι κατασκευαστές ημιαγωγών που επενδύουν σε σωλήνες HL Cryogenic με μόνωση κενού, HL Cryogenicσωλήνας με μανδύα κενού, διαχωριστής, βαλβίδα, καικουτί βαλβίδαςΤα συστήματα αποκτούν μετρήσιμα πλεονεκτήματα στην αποτελεσματικότητα, την ασφάλεια και τον μακροπρόθεσμο έλεγχο του κόστους.

Σε ανταγωνιστικά περιβάλλοντα παραγωγής, η σταθερότητα του κρυογονικού δικτύου μπορεί τελικά να επηρεάσει την απόδοση του προϊόντος, τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού και τη λειτουργική συνέπεια — καθιστώντας τις κρυογονικές λύσεις HL ουσιαστικό μέρος της υποδομής ημιαγωγών.